納秒激光——熱熔加工，利用激光能量的熱堆積，使材料熔化乃至揮發(fā)，脈沖持續(xù)時間長，材料中產(chǎn)生熱堆積傳導，加工材料邊緣熱影響大，容易產(chǎn)生刮渣、碎屑等
皮秒&飛秒激光——氣化消融或改質(zhì)加工，脈寬極短，其依靠自身極高的峰值功率，瞬間氣化材料，熱效應微乎其微，不產(chǎn)生融珠，加工邊緣整齊
| 序號 | 項目 | 參數(shù) |
|---|---|---|
| 01 | 激光器類型 | 515/532nm ps |
| 02 | 最大激光功率 | 90W |
| 03 | 激光加工精度 | ±20um |
| 04 | 激光加工效率 | 1200孔/頭/s（90um） |
| 05 | 激光控制軟件 | 盛雄自主研發(fā)Strong激光加工控制軟件 |
| 06 | CCD視覺定位系統(tǒng) | CCD視覺自動定位、尺寸補償、視場范圍6*8mm |
| 07 | X、Y直線電機運動平臺 | 850X700mm 800mm/s2G加速度 |
| 08 | X、Y平臺定位精度 | Φ1-2μm |
| 09 | 振鏡掃描范圍 | 50x50mm |
| 10 | 工藝方法 | Large Window / Conformal Mask / Cu Direct |
| 11 | 自動上下料換板時間 | 12秒以內(nèi) |
| 12 | 整體尺寸 | 4080X2270X2000(mm) |
| 13 | 整機功耗 | 20KW |
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